很快，DUV浸润式光刻机的控制台和互联网链接成功。
屏幕上，注册软件自动运行。
“链接未来科技公司服务器成功。”
“机器注册中……”
“注册成功！”
“获得测试授权，授权期限为15天。”
伯灵院士看到屏幕上显示的文字后，脸上压抑不住的激动。
现在，最关键的控制系统已经安装到位，整台DUV浸润式光刻机已经完整，可以开始进行测试。
只要测试合格，种花国第一台DUV浸润式光刻机将要在他手中诞生，将要在海上微电公司诞生。
不管是对他而言，还是对海上微电公司而言，这将是无上的荣耀。
“韩总，可以了吗？如果可以，我想马上开展测试。”伯灵院士无法压制心中的激动。
玻璃隔断外，听到伯灵院士的话，科学院的几个院士身体前倾，眼神羡慕的看向伯灵院士。
“伯灵的运气真好！让他捡到那么大的便宜！主持种花国第一台DUV浸润式光刻机的生产，如果这次成功了，他的名字将会留在教科书上。”
到了院士级别，金钱、地位都不缺，他们想要的是，如同其他科学巨匠一样，将名字留在教科书上，留在历史书上。
“伯灵院士，请等一下……我给你们的设计图中，带有自检模块，刚才安装的控制程序中，也带有自检模块的软件。”
“通过软硬件配合。”
“可以对工件台的移动精度，定位精度，移动速度进行自检。”
“同样的，控制程序带有的自检模块，可以对光源的功率，光源波长的纯度进行自检。”
“也可以对镜头的透光率，清洁度，安装位置是否偏移进行检测。”
“只要检测通过，就说明光源和工作台是能够正常工作，可以进行芯片加工。”韩阳一脸认真的说道。
伯灵院士听后，直接瞪圆了眼睛，有些不敢置信的说道，“你的意思是，只要通过软件自检，就说明这台DUV浸润式光刻机质量合格，可以来用进行芯片生产？”
“不是！”韩阳摇了摇头，然后继续说道，“这台DUV浸润式光刻机的光源、镜头、工作台是按照我的设计图来加工生产的，带有我专门设计的自检模块。”
“通过自检，只能说明光源、镜头、工件台没有问题。”
“机器的其他是你们自己设计生产的，有没有问题我不清楚。”
“对了，伯灵院士，你们设计的部分，带有自检模块吗？如果带有自检模块，我提供API，你们可以把这三样的自检模块整合到机器的整体自检模块中。”韩阳一脸认真的说道。
太先进了！比ASML的机器还要先进！这是伯灵院士的第一反应。
想到自家设计的自检模块，伯灵院士脸上露出苦笑。
他们原来的设计图上也有自检模块，但自检模块的检测能力和韩阳设计的部分，根本就不是一个时代的产物。
只能检测零部件是否损坏，是否通电。
和韩阳设计的自检系统相比，非常落后。
看着韩阳那认真的眼神，伯灵院士苦笑着说，“韩总，我们的自检模块做不到这种程度。”
“需要进行质量检测。”
然后，他眼神炙热的看向韩阳，“韩总，我记得你说过，要提供全套技术给我们。”
“等第一台机器试验通过后，请你将自检模块的设计提供给我们，好吗？”
“没问题！但需要一些时间。”韩阳点了点头，开始给伯灵院士演示自检模块的使用方法。
“开始进行光源、工作台、镜头自检……”
“自检中……”
“光源自检完成，光源稳定输出功率300瓦，光波193纳米，设备正常。”
“工作台运行正常，运行精度2纳米。”
“镜头工作正常，透光率，清洁度，安装位置达到生产要求。”
“自检完成，核心组件运行正常。”
在韩阳运行自检程序的时候，所有人都紧张的盯着大屏幕看，看到自检系统提示，核心组件运行正常的时候，所有人都松了一口气。
然后，所有人都看向了伯灵院士。
“测试组，安装硅片！”
“安装测试掩膜！”
在测试组的紧张工作下，所有准备工作完成。
伯灵院士又仔仔细细检查了一番机器的状态，最终对韩阳说，“韩阳，你来和我一起按下这个生产按钮！”
“好！”韩阳没有推迟，他大步来到伯灵院士身边，然后和紧张得浑身冒汗的伯灵院士，一起按下了红色的启动按钮。
顿时，一块硅片被传送装置送到中间的工件台上。
工件台将硅片位置固定后，工件台快速而又精准的移动到镜头的下方。
蓝紫色的光芒从镜头中照射而出，照射到硅片上。
每一次蓝紫色的光芒闪过，工件台就以极快的速度移动，速度极快，如同幻影一般。
很快，第一批加工好的硅片从机器的左边被传送出来，然后被机械手臂传送到下一台机器中进行显影，清洗，烘干等操作。
最终，经过一系列处理的硅片，被送到纳米级光学显微镜下观察。
显微镜观察到的画面，同步投影到大屏幕上。
科学院的几个专家全神贯注的看向大屏幕，足足看了十多分钟，科学院光电所的吴起院士声音中带着喜悦开口。
“光刻位置定位准确！”
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